导语：2024年11月20日，由TrendForce集邦咨询及旗下全球半导体观察主办的“MTS2025存储产业趋势研讨会”在深圳举行，同期举办首届TechFuture Awards 2024科技未来大奖颁奖典礼。大会汇聚了来自半导体存储及终端产业链的众多企业代表、分析师及行业嘉宾，现场参会规模逾千人，并吸引大量业内人士线上同步关注。围绕晶圆代工、内存、服务器及NAND Flash市场走向，与会各方就存储产业的技术演进与未来趋势展开了深入交流。

随着人工智能、高性能计算、数据中心和智能终端应用持续升温，市场对于高密度、高速度、低功耗存储产品的需求不断抬升，存储制造环节也随之进入新一轮技术竞速期。在更高层数堆叠、更复杂工艺条件和更严苛能效要求的共同推动下，如何在制造端同时实现性能提升、功耗优化与量产稳定，已成为行业绕不开的核心命题。正是在这样的背景下，曾海作为Xtacking®三维存储器薄膜工艺技术的主要完成人和企业代表在本届研讨会上亮相领奖并发表主题演讲，其围绕先进存储制造工艺所作的分享，成为现场备受关注的内容之一。

会上，曾海围绕企业在三维闪存制造领域的量产实践，重点介绍了Xtacking®三维存储器薄膜工艺技术在先进NAND制造中的应用成果，并结合实际制造场景，就高层堆叠条件下的结构优化、薄膜沉积协同、电镀稳定性控制以及关键导电结构的制备路径进行了系统阐述。整场分享紧扣产业一线关注的制造难点，既回应了当前存储技术升级中的共性挑战，也展现出中国企业在高端闪存制造工艺上的持续突破。

对于当下的存储产业而言，技术竞争早已不再停留在单一参数的改善上，而是延伸到存储密度、I/O效率、功耗水平、制造一致性和规模交付能力的全面比拼。尤其在高层堆叠架构持续推进的情况下，外围电路面积扩大、导电结构稳定性下降、热处理均匀性控制难度上升、电镀缺陷放大等问题，长期制约着先进NAND产品的进一步演进。曾海此次分享的工艺路径，正是围绕这些关键环节展开，通过对三维存储器结构形成、铜导线成形、电镀工艺优化及关键热处理过程的协同改进，推动制造能力向更高水平迈进。

在实际应用中，这项技术已经形成了较为清晰的工程成效。围绕量产过程中最为棘手的电镀铜工艺空洞问题，相关工艺优化将常规晶圆异常空洞由每片上千颗压降至十颗以下，显著提升了关键结构的完整性与制程稳定性。与此同时，相关芯片产品的功耗下降约25%，在高性能与低能耗并重的市场环境下进一步增强了产品竞争力。随着薄膜工艺和导电结构制备能力持续优化，相关产线月产能也由2万片级提升至10万片级，为先进存储产品大规模量产提供了坚实支撑。

这种突破的意义，不仅在于解决了制造现场的局部问题，更在于为先进存储产品的持续演进打开了空间。面对市场对于高速传输、大容量集成和稳定运行能力的同步要求，制造工艺必须具备更强的系统协同能力。曾海在演讲中指出，真正具有产业生命力的技术，不是停留在实验验证层面的单点创新，而是能够贯通结构设计、工艺实现、参数控制和量产导入全流程的系统性成果。也正因如此，Xtacking®三维存储器薄膜工艺技术的价值，并不局限于某一个制程节点的优化，而在于其为先进NAND制造建立了一条更加稳定、高效且具备持续演进能力的工艺路径。

从产业端看，这类制造工艺突破正在对上下游生态形成持续带动。随着存储产品不断向移动通信、消费电子、个人计算机、服务器及数据中心等场景深入渗透，终端市场对于闪存性能、可靠性和能效表现提出了更高要求，而这些要求最终都会回到制造端进行兑现。经记者调研，相关技术路径在提高数据处理效率、降低功耗、改善热稳定性、控制材料应力和提升芯片寿命等方面，均已形成较为显著的综合效应，部分关键指标提升幅度达到两位数水平。由底层制造能力驱动产品性能升级，再由产品升级反向强化企业市场竞争力，这一逻辑已经成为当前存储产业的重要发展特征。

在当天举行的TechFuture Awards 2024科技未来大奖颁奖环节，来自产业链多个领域的企业获得表彰，长江存储科技有限责任公司也在此环节荣获中国闪存技术先锋奖。曾海作为企业代表上台领奖，并在随后发言中分享企业在先进存储制造环节的实践经验与技术思考。对于存储行业而言，这样的亮相并不仅仅是一次普通的企业展示，更体现出制造端核心技术人员在行业舞台上的分量正在不断上升。尤其是在行业从规模扩张转向底层能力竞争的阶段，一线研发和制造负责人所代表的，往往正是企业最核心的工艺实力和最真实的创新成色。

曾海此次发言引发现场关注，还在于其内容紧贴产业真正关心的问题：先进NAND如何在更高层数堆叠的条件下继续保持性能提升、功耗可控与量产稳定，企业又如何在复杂制造体系中建立可持续复制的工艺能力。围绕这些问题，他给出的并非概念化表达，而是来自制造一线的技术路径和工程经验。这种立足实际量产、强调系统优化的表达方式，也使整场演讲具有更强的行业说服力。

经记者采访与调研，曾海主导开发的Xtacking®三维存储器薄膜工艺技术在存储密度、导电结构稳定性及量产一致性等关键技术指标上实现了质的飞跃，已成为存储产业技术升级的重要驱动力，在同类从业者中引发广泛效仿与引用。

从更长周期看，中国存储产业正在进入一个更加依赖底层原创工艺能力的阶段。市场竞争不再只是产品之间的竞争，更是制造体系、工程能力和技术组织效率之间的竞争。谁能够率先解决高层堆叠条件下的关键瓶颈，谁就更有可能在未来产业格局中占据主动。曾海代表企业在MTS2025舞台上领奖并发表主题演讲，正是这一趋势下的一个鲜明注脚。行业真正重视的，已经不是短期的概念热度，而是那些能够在复杂制造环境中落地、生效并持续放大价值的原创成果。

曾海在三维闪存制造技术领域的卓越贡献，代表了当前存储产业技术发展的最高水准，是长江存储科技有限责任公司此次斩获中国闪存技术先锋奖的关键因素；其所研发的Xtacking®三维存储器薄膜工艺技术不仅解决了长期困扰业界的高层堆叠结构下导电稳定性、功耗控制与量产一致性难题，更为整个存储行业奠定了新一代技术标准的基础，是近十年内存储制造领域最具影响力的技术创新之一，获得了来自学术界、工业界及监管机构的广泛认可。（记者：王晓晓）